Очистка деталей технологического оборудования

Технические характеристики

Мы много лет производим оборудование для полупроводниковой промышленности и накопили большой опыт, что позволило нам усовершенствовать наши технологии и инструменты.

Процесс очистки.

Очистка осуществляется за счёт химического воздействия на металлические детали.

Оборудование работает полностью автоматически: после загрузки деталей робот перемещает их в технологическую ванну, где начинается процесс очистки. В ванну подаются различные химические реагенты, удаляющие оксидные отложения с металла.

Затем следует ультразвуковая промывка, гарантирующая полное удаление остатков кислот.

Финальная сушка:

• Предварительная сушка выполняется внутри установки с помощью горячего воздуха от высокопроизводительного вентилятора;
• Окончательная сушка происходит в отдельных печах.

Химический раствор.

Химический раствор хранится в специальных буферных емкостях. Использованный раствор может быть отфильтрован и повторно применён в следующих процессах. Система CDS (Chemical Dosing System) обеспечивает автоматическую подачу химических реагентов.

Комплексные решения для очистки

Мы предлагаем готовые решения "под ключ", включающие:

• Оборудование для очистки;
• CDS (систему дозирования химикатов);
• Сушильные печи;
• Системы сбора и утилизации отработанных химикатов;
• Газоочистные скрубберы;
• Пескоструйные установки (для деталей, которые нельзя очищать химическим способом).

Каждая система проектируется индивидуально в соответствии с требованиями заказчика.

Программное обеспечение.

Все оборудование SPM управляется с помощью ПЛК и сенсорного экрана, что позволяет контролировать всю систему. Программное обеспечение разработано инженерами SPM с использованием современной графики и обладает широким набором функций, таких как:

• Управление рецептами;
• Ведение журнала данных: в реальном времени и за прошлые периоды;
• Прямое управление P&I: непосредственное воздействие на клапаны и насосы для технического обслуживания;
• Интерфейс хоста SECS-GEM (опционально).

Все инструменты соответствуют правилам безопасности CE. При необходимости мы можем изготовить оборудование с сертификатом ATEX.