Дебондинг пластин

Технические характеристики

Автоматическое оборудование для дебондинга.

Размер обрабатываемых пластин может варьироваться от 3 до 8 дюймов. Автоматизированный робот осуществляет загрузку пластины и её транспортировку на станцию дебондинга.

Процесс дебондинга выполняется путём нагрева пластины вместе с подложкой (обычно другой пластиной или сапфировым диском).

Станция дебондинга оснащена двумя нагревательными плитами с вакуумными держателями. Электромеханическая ось UP/DW регулирует положение верхней плиты в зависимости от толщины комплекта "пластина + клей + подложка". Горизонтальная ось отводит нижнюю плиту от верхней.

Этапы процесса дебондинга пластин:

• Загрузка комплекта "пластина + клей + подложка" на нижнюю плиту;
• Активация вакуума на нижней плите → пластина надежно фиксируется;
• Верхняя плита опускается к подложке в соответствии с заданной толщиной (также возможен контроль по моменту затяжки);
• Активация вакуума на верхней плите → подложка надежно фиксируется;
• Нагрев верхней и нижней плит с помощью инфракрасных нагревателей;
• После достижения заданной температуры электромеханическая ось перемещает только пластину, сдвигая её горизонтально;
• Робот захватывает пластину сбоку и перемещает её на станцию охлаждения;
• Освобождение подложки и её размещение в специальном контейнере;
• Робот захватывает подложку и перемещает её на станцию охлаждения;
• После достижения необходимой температуры пластины и подложки → выгрузка с помощью робота;
• Химическая обработка пластины и подложки для удаления остатков клея (этот процесс может выполняться на отдельном оборудовании или быть интегрированным).

Оборудование для дебондинга управляется PLC и сенсорным экраном, которые контролируют всю систему.

Программное обеспечение разработано инженерами SPM с современным интерфейсом и расширенными функциями, такими как:

• Управление рецептами;
• Ведение журналов данных (в реальном времени и архивных);
• Прямое управление клапанами и насосами для обслуживания;
• Интерфейс SECS/GEM для интеграции с хост-системой (опционально).

Все установки производятся в соответствии с нормами безопасности CE.

При необходимости мы можем изготовить оборудование с сертификацией ATEX (для работы во взрывоопасных зонах).