Сушилки

Технические характеристики

Отдельные сушильные установки.

Для достижения цели сушки могут использоваться различные технологии. Решения варьируются в зависимости от размера продукта, частиц, скорости сушки, а также загрузки одиночных пластин или партий в кассетах.

Технологии, которые предоставляет SPM:

• Сушка горячим азотом (HOT N₂);
• Центробежная сушка (Spin dryer);
• Сушка с использованием мениска спирта (Alcohol meniscus).

Самый простой метод — использование только горячего азота (HOT N₂), который производится непосредственно в установке с помощью встроенного нагревателя. Материал резервуара — нержавеющая сталь SS316L, с опциональным покрытием PTFE для минимизации осаждения частиц на стенках.

Центробежная сушилка может включать также циклы промывки. Резервуар может быть рассчитан на одиночные пластины или партии. В этом случае мотор вращает кассету со скоростью до 4000 об/мин, чтобы удалить частицы воды за счет центробежной силы.

Сушка с использованием мениска спирта применяется в случаях с крайне строгими требованиями к чистоте поверхности. Специальный резервуар позволяет промывать пластины, а затем подавать изопропиловый спирт (IPA) сверху. При сливе жидкости или поднятии пластины на поверхности образуется спиртовой мениск, который обеспечивает сушку. Дополнительно подается горячий азот (N₂) для ускорения процесса.

Сушильные установки управляются с помощью PLC и сенсорного экрана, которые контролируют всю систему. Программное обеспечение разработано инженерами SPM с современным интерфейсом и расширенными функциями, такими как:

• Управление рецептами;
• Ведение журналов данных (в реальном времени и архивных);
• Прямое управление приборами и клапанами (для обслуживания);
• Интерфейс SECS-GEM для связи с хост-системой (опционально).

Все установки производятся в соответствии с нормами безопасности CE.