Экспонирующая машина серии BG-406

Технические характеристики

Экспонирующая машина серии BG-406 в основном используется для выравнивания и экспонирования в процессе производства интегральных схем малого и среднего размера, диодов, триодов, GPP-устройств, светодиодов, силовых электронных устройств, MEMS и других полупроводниковых приборов. Эта серия экспонирующих аппаратов включает в себя 4-дюймовые и 6-дюймовые одно- / двухсторонние экспонирующие аппараты, которые позволяют осуществлять одностороннее выравнивание и одностороннюю экспозицию.

• Максимальный размер подложки: 6" (⌀150 мм);
• Максимальный размер фотошаблона: 7" (175×175 мм);
• Точность совмещения;
• Верхний микроскоп: ±1 мкм;
• Нижний микроскоп: ±3 мкм;
• Разрешение экспонирования: 1.5 мкм (позитивный резист ≤1 мкм, вакуумный контакт).