Автоматическая экспонирующая машина BG-607S

Технические характеристики

Основное применение: автоматическое совмещение и экспонирование двухсторонних изображений при производстве малых и средних интегральных схем и полупроводниковых компонентов. Оборудование отличается удобством управления, высокой стабильностью, хорошей повторяемостью и оптимальным соотношением цена/качество, что позволяет широко использовать его в научных исследованиях и промышленном производстве. 

• Максимальный размер подложки: 6" (φ150 мм);
• Максимальный размер фотошаблона: 7" (175×175 мм);
• Толщина пластины или подложки: 0,2-1,1 мм;
• Режимы экспонирования: мягкий контакт, жесткий контакт, вакуумное копирование;
• Точность совмещения сверху: ±1,5 мкм;
• Точность совмещения снизу: ±3,5 мкм;
• Разрешающая способность экспонирования: 1,5 мкм (при толщине резиста ≤1 мкм, позитивный резист, вакуумный контакт).