Оборудование для влажной уборки серии SFQ /SFQZ

Технические характеристики

Оборудование серии SFQ/SFQZ представляет собой современные установки для влажной химической обработки, которые находят широкое применение в различных высокотехнологичных отраслях промышленности. Эти системы предназначены для обработки полупроводниковых подложек и аналогичных материалов в процессах производства интегральных схем, оптоэлектронных устройств, MEMS-компонентов, дискретных полупроводниковых приборов, а также в области обработки полупроводниковых материалов и солнечной энергетики.

В основе оборудования серии SFQ/SFQZ лежат шесть запатентованных технологических решений

• Технология системной интеграции;
• Автоматическая подача и контроль газов/жидкостей;
• Защита от коррозии и химического воздействия;
• Точный контроль температуры;
• Автоматическая транспортировка пластин;
• Равномерное распределение потока растворов.