Центрифуги для промывки и сушки серии CXS

Технические характеристики

Оборудование серии CXS предназначено для высокочистой промывки и сушки кремниевых пластин, фотошаблонов и аналогичных материалов, поддерживает обработку пластин диаметром 2-12 дюймов. Серия LXS применяется в обработке материалов, производстве солнечных элементов, дискретных приборов и других отраслях, отличается высокой производительностью и эффективностью.

• Логическое управление на базе высокопроизводительного программируемого контроллера;
• Мониторинг через цветной ЖК-дисплей с поддержкой китайского языка, хранение до 100 пользовательских рецептов;
• Чистовая конструкция с применением технологий очистки;
• Контроль удельного сопротивления деионизированной воды;
• Защита от статического электричества;
• Контроль температуры азота;
• Регулировка температуры камеры;
• Азотное уплотнение вращающегося вала;
• Бесщеточный двигатель;
• Позиционирование вращающегося держателя;
• Диагностика неисправностей с отображением и сигнализацией.