Графитовый подложкодержатель, модель SGL8510

Графитовый подложкодержатель – это изделие из графита, которое используется для удержания подложек (например, кремниевых пластин) во время технологических процессов, таких как эпитаксия. В частности, графитовые подложкодержатели применяются в установках МОС-гидридной эпитаксии. 

• Материал:

Изготавливаются из графита, который обладает высокой термостойкостью, химической стойкостью и хорошей теплопроводностью.

• Применение:

Используются в процессах, где требуется точное позиционирование и удержание подложек при высоких температурах и в агрессивных средах, например, при выращивании тонких пленок в эпитаксии.

• Особенности:

Графит может быть обработан для придания ему определенных свойств, таких как повышенная износостойкость или устойчивость к смачиванию расплавленным металлом, например, добавлением бора или силицированием.

Описание:  графитовый подложкодержатель для установки эпитаксиального наращивания слоев при производстве кремниевых пластин большого диаметра «Эпиквар-101М»

- Диаметр гнезд Ø 100 мм.
- Покрытие SiС 100±20 мкм.
- Графит марки SGL8510
- Температура нагрева 950 градусов 
- Вес нетто 6,2 кг