Технические характеристики
Трансмиссионный модуль VTM отличается стабильным ультравысоким вакуумом, минимальной утечкой и высокой степенью безопасности. Интеграция камер, клапанов, технологических модулей и робота выполнена с максимальной точностью и надёжностью. Аппаратная система межблочной защиты гарантирует стабильную работу, а соответствие международному стандарту безопасности SEMI S2 подтверждает высокий уровень инженерного исполнения.
Все технические характеристики сопоставимы с решениями ведущих мировых брендов.
Технические параметры
|
Основная информация |
Источник энергии |
Переменный ТОК 220 В 50 Гц 1500 Вт |
|
|
CDA |
0,3-0,7МПа |
||
|
Плоскость передачи |
1100 мм |
||
|
Размер пластины |
300мм 200мм 150мм 100мм |
||
|
Чистота |
Класс 1 |
||
|
Степень разрежения |
5 x 10(-8) Торр |
||
|
Скорость утечки |
<1 × 10⁻⁹ std.cc/сек He |
||
|
Робот |
Модель |
HHVRD32 |
|
|
Сфера деятельности |
Ось R |
1050 мм |
|
|
Ось Z |
50мм 100мм 150мм |
||
|
Максимальная скорость передачи |
1000 мм/сек |
||
|
Повторяемость |
Ось R, ось Z |
± 0,05мм |
|
|
Ось T |
0.005° |
||
|
VPA |
Точность калибровки |
Точность вращения |
0.3° (3σ) |
|
|
Точность центрирования |
0,05 мм |
|
|
Начальный диапазон захвата |
+3,99 мм |
||
|
Цикл калибровки |
3,5-4,7 секунды |
||
|
VCE |
Основные характеристики |
Обнаружение ламинированных или наклонных пластин |
|
|
Цикл отображения ленты |
20 секунд |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Вакуумный трансмиссионный модуль VTM |
По запросу |
JoomShopping Download & Support