Система для низкотемпературной промывки ICE

Это устройство для промывки пластин диаметром 200/300 мм, соответствующих HDIS. Высокоскоростная промывка достигается за счет системы подачи источника. Кроме того, электростатический патрон с механизмом охлаждения позволяет поддерживать температуру пластин на низком уровне, а также предотвращать всплывание и улучшать качество ультратонких пластин с помощью защитных материалов. Также возможна обработка золением, которые подавляют окисление металла. Это решает проблемы в процессе золения тонких пластин и способствует повышению производительности.

Технические характеристики

1. Высокоскоростная/Низкотемпературная промывка.

При скорости перемешивания 1,5 мкм/мин или более, температура пластин составляет 100 ℃ или ниже. Были достигнуты как показатели стойкости к образованию осадка, так и показатели вспучивания;

2. Поддержка высокой концентрации ИРЧП.

Пластины HDI объемом от 10 до 15 [атм./см2] можно стирать без остатка;

3. Подставка для тонких пластин.

Тонкие пластины с защитными материалами могут быть обработаны низкотемпературной обработкой с использованием механизма охлаждения.