Это оборудование для высокотемпературного травления фосфорной кислотой с одним листом, которое продолжает развиваться как для травления нитридных пленок для передовых логических устройств.
Технические характеристики
- Управление профилем травления.
Оснащен бесконтактным нагревателем пластины с зональным управлением для регулирования объема травления от центра пластины к краю;
- Высокая скорость травления и высокий коэффициент отбора.
Высокая селективность достигается за счет регулирования концентрации кремния в фосфорной кислоте при поддержании температуры фосфорной кислоты выше 160°C.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SC300-HT |
По запросу |
JoomShopping Download & Support