Это устройства для травления фотошаблонов, которые поддерживают все - от EUV следующего поколения до устаревших продуктов.
Технические характеристики
- Большой объем, процесс со сверхнизким давлением.
Оптимизированная конструкция камеры обеспечивает самую высокую в отрасли скорость выпуска. Кроме того, высокая однородность в плоскости была достигнута благодаря сочетанию источника плазмы;
- Разработка монитора конечных точек.
Обнаружение конечной точки возможно даже при использовании маски с низким коэффициентом светосилы 1% или менее.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ARES |
По запросу |
JoomShopping Download & Support