Это одностворчатая система очистки, которая поддерживает все виды фотошаблонов EUV следующего поколения и устаревшие продукты. Оснащен функцией сублимационной очистки и обеспечивает как точное удаление посторонних частиц, так и отсутствие повреждений рисунка.
Технические характеристики
- Функция очистки от замораживания.
Используя свойства сверхчистой воды, расширяющейся в процессе замораживания, реализована технология очистки без повреждений, которая избирательно удаляет посторонние вещества;
- Совместимость с различными фотошаблонами.
Благодаря использованию технологии очистки, оптимизированной для каждого фотошаблона. Также доступна очистка заготовок для масок;
- Могут быть выбраны различные технологические модули.
В дополнение к функции очистки от сублимации в качестве опции могут быть установлены различные технологические модули, такие как функция очистки торца.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
MC150 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support