Система для окончательной уборки SC300-FC

Это совместимая с 300 мм пластинами одностворчатая система очистки для межпроцессной очистки и окончательной очистки полупроводниковых пластин. Усовершенствован механизм удержания пластины, а также улучшена чистота торцевой поверхности в дополнение к передней и задней поверхностям пластины.

Технические характеристики

1. Высокая эффективность.

Система удерживает мелкие частицы размером 19 нм или менее. Эффективность очистки была улучшена примерно на 25% по сравнению с предыдущей машиной за счет пересмотра эффективности подачи и камеры;

2. Улучшенный механизм удержания пластин.

Чтобы улучшить чистоту торцевой поверхности, был разработан новый механизм удержания пластин;

3. Высокая производительность.

Можно выбрать до 8-камерных конфигураций, что повышает производительность.