Технические характеристики
|
Работа с размерами |
Кварцевая маска 1400 x 850 мм и 800x 900 мм |
|
Компонент юнита |
Робот / Центрирование / вращающаяся чашка для чистки / |
|
Точность центрирования |
± 0,5 мм |
|
Тип робота |
Однорукий робот Yaskawa |
|
Скорость вращения |
30 ~ 1000 об/мин |
|
Точность скорости вращения |
± 5% |
|
Ускорение |
0 → 1000 об/мин / 30 сек. |
|
Система дозирования химикатов |
Щелочная химия |
|
Блок щетки |
Да |
|
Единица МС |
Да |
|
Полоскание DIW |
Да |
|
Сухая форсунка N2 |
Да |
|
Химическая система контроля температуры |
Да |
|
Реверсивный блок |
270° |
|
Инспекционный свет |
Прожектор / Зеленая лампа / Подсветка |
|
Лампа EUV |
172 нм |
|
Интенсивность света EUV |
> 50 мВт/см2 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS450FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support