Вращающаяся центрифуга ELS2300 Series

Размер пластины

50 мм ~ 300 мм

Робот

Двойные манипуляторы

Класс чистоты

Класс 100 с HEPA

Бак для замачивания

1 ~ 2

Химические

Рециркуляция системы
термостатирования

Камера для высокопроизводительных вычислений

1 ~ 2

Скорость вращения

30~4000 об/мин

Форсунка высокого давления

Контроль давления потока / распыления / Типа MCM®

Верхнее / заднее полоскание

да

Камера TCM

1

Сопло

Тип TCM® ( Mixed DIW & N₂ или CDA )

Верхнее / заднее полоскание

Да

Камера очистителя

1 ~ 2

Химические

IPA / DIW / ACE (опция)

Верхнее / заднее полоскание

Да

Пузырьковая система CO₂

Да

Безопасность

Автоматическая система пожаротушения

Управление системой

ПК

Управление системой

mitsubishi серии Q

Опция:

RFID-считыватель
EFEM
Hot DIW System
Hot N₂ System
SECS/GEM

Модель

Стоимость, доллары США

ELS2300 Series

По запросу