Технические характеристики
|
Размер пластины |
100 мм ~ 150 мм |
|
Функции |
ld / робот / Центрирование / Проявитель / hp / cp / Uld |
|
Тип робота |
Двойные манипуляторы с системой картографирования |
|
Класс чистоты |
Класс 100 с HEPA |
|
Скорость вращения |
30 ~ 5000 об/мин |
|
Ускорение |
8000 об/мин |
|
Метод дозирования |
Насос с возможностью |
|
Промывка водой |
Да |
|
Температура |
30 ~ 150°C (Опция: макс. 200°C) |
|
Способ нагрева |
Контактный |
|
Управление системой |
ПК (Опция: функция CIM) |
|
Управление системой |
mitsubishi серии Q |
|
Производительность/час |
90 ~ 120 шт |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS7606FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support