Выравниватель маски ELS108FA-B/ELS108FA

Размер работы：

150 мм ~ 200 мм

Размер

7" и  9" кварцевая или натриевая известь

Лампа хаус ватт

660 Вт ~ 940 Вт

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия  365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивность света

> 20 мВт/^см2 при 365 нм

Источник лампы

УФ-ртутная лампа

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 8 дюймов

Эффективная площадь воздействия

Макс. 200 мм x 200 мм

Тип робота

Двойные манипуляторы с системой картографирования

Режим экспозиции

Бесконтактный / мягкий контакт / жесткий контакт /
вакуумный контакт

Ключ выравнивания

150 мx 150ми меньше

Точность юстировки

±2μм для выравнивания
верхней стороны ±3μм для выравнивания нижней стороны

Разрешение L/S

1μм в зависимости от режима контакта и толщины ПР 1μм

Время такта

Верхняя сторона < 40 сек./шт
Нижняя сторона < 45 сек./шт

Управление системой

ПК

Опции

Обрезной фильтр

Дом с лампой DUV

Интегральный расчет функции светового объемаИзмеритель мощности

Модель

ELS108FA-В

Размер работы：

150 мм ~ 200 мм

Размер

7" и  9" кварцевая или натриевая известь

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия  365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивност света

> 20 мВт/^см2 при 365 нм

Источник лампы

УФ-ртутная лампа

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 8 дюймов

Эффективная площадь воздействия

Макс. 200 мм x 200 мм

Тип робота

двойные манипуляторы с системой картографирования

Режим экспозиции

Бесконтактный / мягкий контакт / жесткий контакт /
Вакуумный контакт

Ключ выравнивания

150 мx 150ми меньше

Точность юстировки

±2м

Разрешение L/S

1μм в зависимости от режима контакта и толщины ПР 1μм

Время такта

< 40 сек./шт

Управление системой

 ПК

Опции

Cut Filter
DUV Lamp House
Функция суммирования светового потока
Power Meter

Модель

ELS108FA

Модель

Стоимость, доллары США

ELS108FA-B / ELS108FA

По запросу