Технические характеристики
|
Размер работы: |
150 мм ~ 200 мм |
|
Размер |
7" и 9" кварцевая или натриевая известь |
|
Лампа хаус ватт |
660 Вт ~ 940 Вт |
|
Диапазон длин волн |
Широкая полоса |
|
Интенсивность света |
> 20 мВт/см2 при 365 нм |
|
Источник лампы |
УФ-ртутная лампа |
|
Равномерность интенсивности света |
< 3% в пересчете на пластину диаметром 8 дюймов |
|
Эффективная площадь воздействия |
Макс. 200 мм x 200 мм |
|
Тип робота |
Двойные манипуляторы с системой картографирования |
|
Режим экспозиции |
Бесконтактный / мягкий контакт / жесткий контакт / |
|
Ключ выравнивания |
150 мx 150ми меньше |
|
Точность юстировки |
±2μм для выравнивания |
|
Разрешение L/S |
1μм в зависимости от режима контакта и толщины ПР 1μм |
|
Время такта |
Верхняя сторона < 40 сек./шт |
|
Управление системой |
ПК |
|
Опции |
Обрезной фильтр Дом с лампой DUV Интегральный расчет функции светового объемаИзмеритель мощности |
|
Модель |
ELS108FA-В |
|
Размер работы: |
150 мм ~ 200 мм |
|
Размер |
7" и 9" кварцевая или натриевая известь |
|
Диапазон длин волн |
Широкая полоса |
|
Интенсивност света |
> 20 мВт/см2 при 365 нм |
|
Источник лампы |
УФ-ртутная лампа |
|
Равномерность интенсивности света |
< 3% в пересчете на пластину диаметром 8 дюймов |
|
Эффективная площадь воздействия |
Макс. 200 мм x 200 мм |
|
Тип робота |
двойные манипуляторы с системой картографирования |
|
Режим экспозиции |
Бесконтактный / мягкий контакт / жесткий контакт / |
|
Ключ выравнивания |
150 мx 150ми меньше |
|
Точность юстировки |
±2м |
|
Разрешение L/S |
1μм в зависимости от режима контакта и толщины ПР 1μм |
|
Время такта |
< 40 сек./шт |
|
Управление системой |
ПК |
|
Опции |
Cut Filter |
|
Модель |
ELS108FA |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS108FA-B / ELS108FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support