Технические характеристики
|
Размер пластины |
100 мм ~ 150 мм |
|
Функции |
ld / робот / центрирование / Очистка камеры / Uld |
|
Тип робота |
Двойные манипуляторы с системой картографирования |
|
Класс чистоты |
Класс 100 с HEPA |
|
Скорость вращения |
30 ~ 5000 об/мин |
|
Очистка камеры |
Распылительная форсунка, щетка и обдув N2 |
|
Управление системой |
ПК (Опция: функция CIM) |
|
Управление системой |
mitsubishi серии Q |
|
Производительность/час |
90 шт |
|
Производительность |
Коэффициент удаления частиц > 98% |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
ELS506FA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support