Полуавтоматический кварцевый погрузчик и разгрузчик

Применение

Устройство для загрузки и выгрузки интегрировано, и может выгружать кремниевые пластины из кварцевого сосуда в корзину для пластин после диффузии, а также загружать текстурированные кремниевые пластины обратно в кварцевый сосуд из корзины для пластин. В один слот кварцевого сосуда можно вставить две пластины, что позволяет реализовать технологию односторонней диффузии, или можно вставить одну пластину, что позволяет реализовать технологию двусторонней диффузии. Используя способ непрерывной загрузки и выгрузки, можно осуществлять непрерывное производство; также можно индивидуально загружать или выгружать пластину.

Технические характеристики

• Импортный шестиосевой манипулятор используется для загрузки и выгрузки пластины для обеспечения высокой надежности захвата и размещения кремниевой пластины, а также снижения скорости фрагментации и царапин кремниевой пластины.
• HMI использует (IPC) промышленный компьютер для запуска верхнего программного обеспечения, обеспечивая высокоскоростной обмен данными по сетевой связи.
• Важные компоненты верхних зубьев и присосок обрабатываются с использованием специальной технологии, что значительно снижает следы от верхних зубьев и присосок, а также обеспечивает возможность их быстрой замены.
• Дополнительные функции MES могут быть выбраны; возможен модуль для обнаружения противодействия; доступен AGV, автоматизация может быть настроена на конфигурацию один к двум, мы можем настроить индивидуальные функции в соответствии с требованиями клиентов.

Технические параметры