Система предварительного позиционирования пластин

Оборудование обеспечивает высокоточное и высокоэффективное предварительное позиционирование центра пластины диаметром 6-12 дюймов и плоского края (насечки) для обслуживания процесса перемещения пластин. Подходит для пластин с прозрачными, полупрозрачными и непрозрачными надрезами, плоскими краями, многоугольниками и т.д.

Технические характеристики

• Подходит для предварительной калибровки положения пластин оборудования для производства полупроводников и испытательного оборудования.;
• Бесконтактная предварительно установленная пластина.;
• Совместим с полустандартными пластинами диаметром 150 ~ 300 мм и прозрачными пластинами.;
• Положение считывания кода: 6-12 дюймов позволяют считывать гравировку спереди и сзади.;
• Сертификация SEMI S2.