Полностью автоматическая машина окончательной очистки

Технические характеристики

Он в основном используется для окончательной очистки полированных кремниевых пластин и процесса очистки эпитаксиальных пластин для удаления частиц и ионов металлов с поверхности пластины.

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Вафельная кассета. Безкассетная роботизированная трансмиссия, технология проектирования безкассетной несущей системы очистки.
3. Высокоэффективная технология медленного вытягивания чистой воды + ИК-инфракрасная сушка (или технология сушки с эффектом Марангнуа).
4. Автоматическая подача химикатов, жидкостная система
5. Технология очистки мегазвуковым циклом
6. Возможности информационного взаимодействия и связи с системой MES Технические показатели:

(1) Размер пластины: 8 дюймов, совместим с 6 дюймами

(2) Производительность обработки: 50 штук в баке

(3) Температура раствора: 50℃～80℃±1℃

(4) Мегазвуковая очистка: 950 кГц, 2400 Вт

(5) Точность приготовления жидкости: ≤1%

(6) Контроль частиц: ≤ 20 шт./шт.＠0,12 мкм

(7) ≤10 шт./шт.＠0,16 мкм

(8) Содержание металла: ≤1E10 атомов/см2

(9) Эффективность производства: ≥2750WPH