Полностью автоматическая машина для очистки одной стружки

Технические характеристики

1. Используется для монолитного травления, очистки и чистки полупроводниковых материалов, таких как кремний, карбид кремния и нитрид галлия.
2. Машина может быть совместима с различными размерами (4 и 6 дюймов; 6 и 8 дюймов; 8 и 12 дюймов).
3. Технологическая камера была оптимизирована и спроектирована, а высокопроизводительный FFU в сочетании с регулируемой по высоте CUP образует нисходящий поток стабильной силы и строго контролирует динамическую среду в зоне обработки поверхности пластины.
4. Он может осуществлять разделение отходов жидких лекарств (кислоты/щелочи/органические вещества) без перекрестного загрязнения жидких лекарств.
5. Применяется для подложки и эпитаксиальной очистки, PRstrip, оксидеудаления и других процессов.
6. Поддержка протокола GEM/SECS и подключения системы MES.