Полностью автоматическая машина для очистки диффузора

Технические характеристики

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Полностью автоматическая конструкция ультразвуковой очистки кремниевых пластин перед диффузией.
3. Ультразвуковой бак имеет такие функции, как нагрев, подъем и перелив.
4. В блоке управления используются импортные PLC и HMI. Все электрические цепи и цепи, которые могут контактировать с кислотным туманом, обработаны антикоррозийной изоляцией PFA. Шкаф наполнен CDA/N2 для защиты находящихся в нем электроприборов.
5. Передняя часть машины оснащена пистолетом для чистой воды из PTFE и пистолетом для азота из PTFE с правой стороны.
6. Стандарты проектирования оборудования реализуются в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93), а система управления качеством ISO9001 стандартизирована и гарантирована.