Полностью автоматическая машина для очистки RCA

Технические характеристики

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Используйте SC1 и SC2 для эффективной обработки органических и неорганических веществ на поверхности чипа, что позволяет очищать кремниевые пластины размером 4, 5 и 6 дюймов.
3. Может быть предназначен для ручного и полностью автоматического режима работы. Полностью автоматический режим работы использует два робота, более эффективно повышает эффективность и снижает затраты.
4. Производительность очистки: пластины размером 4–6 дюймов, 2 корзины/партия из 25 пластин.
5. Комплексная функция подсказки тревоги, функция защиты от дураков.
6. Каждый технологический резервуар имеет модульную конструкцию, а резервуар для травления и резервуар для промывки чистой воды размещены в едином герметичном шасси. Резервуар для травления имеет нижнюю вытяжку для уменьшения объема выхлопных газов.
7. Технологический резервуар может быть сконструирован по индивидуальному заказу. с подъемным механизмом для очистки. Быстрее и тщательнее.
8. В части управления используется импортный PLC и HMI.
9. Передняя часть машины оснащена пистолетом для чистой воды из PTFE и пистолетом для азота из PTFE с правой стороны.
10. Стандарты проектирования оборудования реализуются в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93), а система управления качеством ISO9001 стандартизирована и гарантирована.