Полностью автоматическая машина для травления

Технические характеристики

1. Очистка погружением от травления типа вафельного резервуара, автоматическое вращение и вращение пластин в специальной барабанной клетке.
2. Результаты процесса очень однородны и стабильны, что обеспечивает эффект травления.
3. Полностью автоматизированное управление процессом, самостоятельно разработанная система управления и удобный интерфейс взаимодействия человека с компьютером.
4. Функция барботирования азота: трубопровод азота может двигаться параллельно и равномерно в резервуаре с кислотой во время работы, а скорость барботирования можно регулировать.
5. Многоступенчатая тонкая фильтрация химической жидкости, функция рециркуляции и автоматического пополнения.
6. Иметь возможности информационного взаимодействия и связи системы MES.
7. Химическая жидкость имеет встроенные функции нагрева, охлаждения и поддержания постоянной температуры.
8. Полностью настроенное специальное устройство для перемотки пластин.
9. Предоставление стандартных технологических решений.
10. Очистительная машина использует конфигурацию аппаратного и программного обеспечения для максимальной защиты кремниевой пластины. Если оборудование выходит из строя в нештатных условиях, немедленно мобилизуйте манипулятор, чтобы вынуть кремниевую пластину из резервуара с химическим раствором и поместить ее в QDR. резервуар для воды для мытья, который позволяет избежать чрезмерной травления кремниевых пластин химическими растворами. В экстремальных условиях, если робот выходит из строя, оборудование немедленно сливает химический раствор из резервуара с химическим раствором, а затем впрыскивает UPW, что также может уменьшить чрезмерную коррозию химического раствора на кремниевой пластине.
11. Производительность обработки: диаметр пластины от 4 до 12 дюймов, количество в партии: 75 шт./6 дюймов, 50 шт./8 дюймов/12 дюймов.

Точность эрозии: шаг плоскостности δTTV≤1,5 мкм.

Области применения: утонение пластин, поверхностная травления.