Полностью автоматическая машина для гравировки траншей

Технические характеристики

1. В машине используется импортная пластина Röschling, которая может работать в среде кислотной травления в течение длительного времени. Она прочная, долговечная и имеет двухслойную конструкцию, предотвращающую утечку.
2. Он использует структуру циркуляции охлаждения внешнего большого резервуара с кислотой в небольшой резервуар с кислотой, который может травить кремниевые пластины размером 4", 5", 6 дюймов.
3. Полностью автоматическая конструкция работы, простая и безопасная работа.
4. Возможность контроля температуры RT ~ -20°C, точность контроля температуры составляет ±1°C
5. Запатентованная конструкция холодильного змеевика не подвергается травления в течение длительного времени, а эффект прямого охлаждения хороший.
6. Канавки ровные, толщина может достигать 130 мкм. ±3 мкм
7. Часть управления использует импортный PLC и HMI.
8. Передняя часть машины оснащена пистолетом для чистой воды из PTFE и азотным пистолетом из PTFE с правой стороны.
9. Стандарты проектирования оборудования реализованы в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93). и система управления качеством ISO9001. Стандарты и гарантии.
10. Номер отечественного патента на изобретение: ZL20140082522.0.