Оборудование для нанесения клеевого покрытия. KS-FT200/300 передняя 8/12-дюймовая машина для нанесения клея и проявления

Серия KS-FT200/300 высокопроизводительных машин для нанесения покрытий и проявки разработана нашей компанией независимо для того, чтобы прорваться через технологический узел 28 нм и выше в процессе обработки пластин. Они подходят для ArF, KrF, I. -Line, PI и BARC. Высокопроизводительная машина для нанесения покрытий и процессов разработки SOC, SOD, SOG и других материалов. Поддерживает онлайн-операции с фотолитографическими машинами. Эта серия машин прошла различные отраслевые сертификации, имеет небольшие размеры, высокую надежность и простоту обслуживания, отвечая потребностям различных функциональных процессов производства микросхем.

Технические характеристики

1. Многоуровневая архитектура с высокой производительностью, малая занимаемая площадь.
2. Может быть подключена к фотолитографическим машинам для удовлетворения потребностей автоматизации производства.
3. Оборудована общей системой подачи клея с несколькими полостями и многоступенчатым всасыванием, что эффективно экономит количество фоторезиста.
4. Выберите Оснащен высокоточной горячей плитой, WEE, AOI и другими компонентами установки, отвечающими более высоким стандартным технологическим требованиям.
5. Модульная конструкция основного блока, гибкие методы комбинирования и максимальная настройка.

Области применения:

• Логическая схема
• ВЧ-схема CMOS
• Устройство питания
• Система MEMS на кристалле
• Флэш-память
• CIS
• Микросхема драйвера
• OLED и т.д.