8-дюймовое оборудование для глубокого травления кремния с индуктивно связанной плазмой (ICP-DSE) Pishow® Серия D

8-дюймовое оборудование для глубокого травления кремния с индуктивно связанной плазмой (ICP-DSE).

Технические характеристики

• Серия Pishow® D — это оборудование для травления с индуктивно-связанной плазмой (ICP), использующее технологию глубокого травления кремния.
• Предоставить решения Bosch для травления Si с высоким соотношением сторон.
• Оптимизированная конструкция газового шкафа сокращает расстояние для впуска воздуха, а кратчайшее время переключения процесса составляет менее 1,0 секунды.
• В серии Pishow® D можно выбрать пластины размером от 8 до 4 дюймов и использовать различные комбинации камер, например, с одной или несколькими полостями.

Данные процесса.

Соотношение сторон и глубину травления можно регулировать, боковые стенки вертикальные, шероховатость хорошая.

Оборудование для глубокого травления Pishow ® серии D представляет собой специальное оборудование для производственных линий размером от 8 до 6 дюймов или для научных исследований процессов глубокого травления кремния. Оно имеет оптимизированную конструкцию собственной разработки, обеспечивающую превосходный контроль точности травления и контроль повреждений.

Предоставьте решения для процесса Si Bosch.

Экономичное решение оборудования и превосходное использование пространства могут помочь различным клиентам добиться увеличения мощности.