12-дюймовое оборудование для формирования ионного пучка (IBS) Pangea® A (Пангея ® Серия А)

12-дюймовое оборудование для формирования ионного пучка (IBS).

Технические характеристики

• Серия Pangea®A подходит для 12-дюймовых пластин, оснащенных источником ионов с большой апертурой, а однородность травления (1σ) достигает < 1%.
• Предметный столик можно отклонять (наклонять), а диапазон отклонения составляет от -90° до +80° для достижения наклонного падения ионного пучка.
• В ходе процесса предметный столик может вращаться.
• Может сочетаться с различными модулями передачи.

Данные процесса.

MTJ-травление.

Та офорт

Обычное оборудование IBS серии Pangea®A использует сетку источника ионов для извлечения положительных ионов и их ускорения. Нейтральный луч попадает на поверхность образца и распыляется, образуя изображение травления. Поскольку плазма генерируется далеко от пространства пластины, на воспламенение не влияют нелетучие побочные продукты. Это физическое решение можно использовать для травления практически любого твердого материала, включая металлы, сплавы, оксиды, соединения, смешанные материалы, полупроводники, изоляторы и т.д. Энергию и плотность ионного луча, вытягиваемого сеткой, можно контролировать независимо, что улучшает управляемость процесса. Угол несущей ступени можно регулировать для достижения наклонного падения ионного луча, что можно использовать для травления специальных рисунков и также подходит для очистки боковых стенок и других процессов.