Оборудование для травления металла Kessel® Pishow® M

Технические характеристики

• Оборудование для травления металла Kessel® Pishow® M представляет собой оборудование массового производства для производства 8-дюймовых интегральных схем.
• Оборудование состоит из камеры травления с индуктивно-связанной плазмой (камера травления ICP), камеры стрипа, камеры охлаждения и модуля переноса.
• Подходит для травления алюминиевых площадок и вольфрамовых выемок (W Recess) толщиной 0,11 микрона и других поколений технологий.
• Вы также можете использовать 6-дюймовый ESC.

Данные процесса.

Травление алюминиевой площадки.

Технология алюминиевой проволоки.

Травление вольфрамовой пробки.

Оборудование для травления металла Kessel™ Pishow ® M — это машина массового производства, которую можно использовать для обработки металлического алюминия на линиях по производству 8-дюймовых микросхем. Благодаря оптимизированной конструкции собственной разработки оно обеспечивает превосходную однородность травления (в пределах кристалла <8%), межчиповый <5%) и контроль частиц. Процесс травления алюминия толщиной 4 микрона обеспечивает производственную мощность 8000 штук в месяц.

Экономичное решение оборудования и превосходное использование пространства могут помочь клиентам модернизировать свои производственные мощности.