Прибор для измерения угла наклона DXL-C1018

Технические характеристики

Он используется для измерения угла наклона атомной поверхности пластины в четырех направлениях на торцевой поверхности пластины; и измерения угла наклона атомной поверхности пластины в обратном направлении на цилиндрической выемке пластины, независимой работы двойного рабочего стола с автоматическим определением пика, автоматическим вычислением разницы, запросом исторических сигналов тревоги и сохранением стандартного угла направления кристалла и другими функциями. Точность оборудования составляет ±30”, с небольшим показанием в 1”.

Применимый кристалл

Кремний, сапфир Пьезоэлектрический кристалл Карбид кремния Арсенид галлия Фосфид индия И другие соединения III-V группы