Технические характеристики
Машина для периодической очистки пластин KT-3000T - это машина для влажной уборки полупроводниковых пластин, которая используется для очистки частиц, металлических загрязнений и других органических веществ с передней и обратной сторон пластины. Машина совместима с пластинами толщиной 4-6 и 6-8 дюймов, оснащена высокоэффективной роботизированной рукой, высокой точностью повторного позиционирования и высокой производительностью. Программная система собственной разработки обеспечивает контроль параметров процесса, включая настройку и модификацию ноу-хау, хранение и вызов технологических программ.
Преимущество
Гибкий
Может обрабатывать пластины из различных материалов толщиной 4-6 и 6-8 дюймов
Может непрерывно очищать 10 процессов, используя по 25 штук пластин на процесс
Безопасно
В процессе очистки кассету с пластинами переносят в закрытую среду, что позволяет предотвратить попадание аэрозоля кислоты и щелочи в воздух.
Цифровое управление
Хранение ноу-хау, автоматическое смешивание, добавление и доливка 5 видов чистящих химических растворов.
Изготовление на заказ
Количество емкостей определяется в соответствии с технологическими требованиями заказчика
Несколько процессов нанесения
Подходит для предварительной очистки CMP, очистки RCA, предварительной / постдиффузионной очистки, эпитаксиальной очистки и т.д.
Технические параметры
|
Модель |
KT-3000T |
|
Размер пластины |
4-6 дюймов, 6-8 дюймов |
|
Количество пластин |
25шт / раз или 50шт / раз |
|
Толщина пластины |
320-1000 мкм |
|
Способ переноса пластин |
Эффективная автоматическая передача роботизированной руки |
|
Количество резервуаров |
В соответствии с технологическими требованиями клиента |
|
Размер и вес машины |
В соответствии с технологическими требованиями клиента |
|
Процесс очистки |
Загрузка пластин → SPM → HQDR → DHF → QDR → SC1 → QDR → SC2 → QDR → выгрузка сухих пластин (модифицирована в соответствии с технологическими требованиями клиента) |
|
Функция химического раствора |
Автоматическое смешивание, добавление и доливка чистящего химического раствора. |
|
Определение концентрации химического раствора |
Оснащается в соответствии с технологическими требованиями клиента |
|
Мега очищение |
Оснащается в соответствии с технологическими требованиями клиента |
|
Сторона для очистки пластин |
Лицевая и оборотная стороны вафли |
|
Способ сушки |
Азотная сушка |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
KT-3000T |
По запросу |
JoomShopping Download & Support