Машина для деэлектрического травления JETVenus

Технические характеристики

JETVenus - это устройство для плазменного травления, независимо разработанное компанией Jiyi Technology. В основном он используется для разнообразного травления пластин на основе кремния и различных компаундов размером менее 8 дюймов (включительно).

Область применения:

Полупроводник на основе кремния

Научно - исследовательские институты

Эксплуатационные характеристики:

Широкий диапазон рабочих температур для обеспечения очень высокого коэффициента селективности

Мощный источник радиочастот и высокоэффективный преобразователь радиочастот с импульсной функцией

Процесс травления с быстрым переключением (процесс Bosch) совместим со стабильным процессом травления и обеспечивает превосходный контроль угла наклона контура боковой стенки и шероховатости.

Простота обслуживания, небольшие габариты, низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Размер пластины: 6/8 дюйма

Применимый материал: Si, SOI, SOG

Применимый процесс: Глубокое травление на основе кремния, плазменная резка