Монолитная машина для мокрого травления AEH ETCH

Конфигурация устройства

2-4 камеры

Мощность оборудования

60WPH (травление Гу Ти)

Материал подложки

Si, SiC, стекло, GaAs, InP.

Применимый процесс

Травление оксида кремния/нитрида кремния (травление SiOx/SiNx), травление металла/травление металла (Cu Ti Au Cr Ni и т. д.), оксид индия-олова/оксид индия-галлия-цинка (ITO/IGZO) и т.д.

Индикаторы процесса

Однородность диэлектрического травления <5%, однородность травления металла <5%, контроль частиц (≤20 шт. при 0,16 мкм)

Контроль ионов металлов (Fe Ca: 5E9 атм/см²; другие: 1E10 атм/см²)

Области применения

IC, силовые устройства, радиочастотная интеграция, полупроводниковая оптика, оптическая связь, научные исследования.

Технические характеристики

·         Машина может быть совместима с различными размерами;

·         Технологическая камера оптимизирована и спроектирована для обеспечения превосходного контроля чистоты.

·         Может использоваться с различными химическими жидкостями, такими как SPM (H2SO4:H2O2), SC-1 (NH4OH: H2O2:H20), SC-2 (HCL:H2O2:H2O), HF, HNO3, H3PO4 и т. д. позволяют осуществлять переработку и переработку до 4 видов химических жидкостей.

·         Может использоваться в сочетании с такими процессами сушки; как процесс распыления Nano и сухой IPA N2.

Размер оборудования

2560*2513*2500(Ш*Д*В)

Модель

Стоимость, доллары США

Монолитная машина для мокрого травления AEH

ETCH

Цена по запросу.