Машина для прореживания пластин WG-1211S

Категория: IC.

Технические характеристики

Оборудование в основном используется для прецизионного утонения твердых и хрупких материалов, таких как кремний, германий, кварц, арсенид галлия, керамика, сапфир и карбид кремния. Оно также подходит для утонения обратной стороны интегральных схем, дискретных устройств, светодиодных чипов и т.д.

Основные параметры.

• Диаметр пластины (мм): макс. 300
• Минимальная толщина утонения (мкм): 100
• Метод измельчения: метод измельчения с подачей.
• Тип шпинделя: встроенный воздушный шпиндель двигателя
• Скорость шпинделя (об/мин): 500-2500
• Скорость подачи шпинделя (мм/с): 0,00001～0,08.
• Минимальная единица измерения шпинделя (мкм): 0,1
• Диапазон измерения (мкм): 0-1800
• Разрешение измерительного прибора (мкм): 0,1
• Повторяемость измерительного прибора (мкм): ±0,5
• Тип стола: пористая керамика
• Скорость рабочего места (об/мин): 0～300
• Перемещение рабочего стола по оси Y (мм): 450
• Изменение толщины внутри кристалла TTV (мкм): ≤3 (специальный стол для хранения пластин)
• Изменение толщины между чипами WTW (мкм): ≤±3
• Шероховатость поверхности Ra (мкм): Ra≤0,2 (с использованием шлифовального круга 2000#)

Ключевая особенность.

• Разработан с использованием принципа измельчения при подаче.
• Диапазон обработки более широк, что позволяет измельчать пластины нестандартного размера.
• В шлифовальном шпинделе и шпинделе опорного стола используются пневматические подшипники, что повышает точность обработки и надежность оборудования.
• Для точного контроля толщины прореживания для обеспечения более высокой безопасности и надежности используется интерактивный измерительный прибор с разрешением измерений 0,1 мкм и повторяемостью ±0,5 мкм.
• Компактная одноосевая автоматическая машина для прореживания.
• Ручная загрузка и выгрузка, автоматическое управление технологическим оборудованием для измельчения.
• Он может быть обработан с помощью стрейч-рамки и пленки, а для обработки максимального размера - 300 мм - используется стандартная стрейч-рамка.