8-дюймовая машина для проявки однородного клея ACD8 COATER&DEVELOPER

Конфигурация устройства

2С2Д, 4С, 4Д

Мощность оборудования

120 л/ч

Материал подложки

Si, Стекло и т.д.

Ширина линии

≥90 нм

Применимый процесс

i-line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC

Области применения

IC, передовая упаковка, MEMS, силовые устройства, радиочастотная интеграция, научные исследования и т.д.

Технические характеристики

·         Оборудование занимает небольшую площадь, имеет высокую производственную мощность, а технологические единицы можно гибко выбирать.

·         Нагревательная плита использует прогрессивную выпечку, а холодная плита — прогрессивное охлаждение.

·         Может адаптироваться к технологии передачи и обработки деформированных пластин, представленных ниже; 5 мм или ультратонкие пластины;

·         Стандартный электрический насос и стандартная функция контроля температуры для трубопровода выравнивания и проявки клея.

·          Полная совместимость с обоими размерами.

·          Опционально: высокоточная нагревательная пластина, оптическое выравнивание, WEE и другие компоненты; интерфейсный модуль, реализация функции Inline.

Размер оборудования

1680*1550*2500 мм (Ш*Г*В)

Модель

Стоимость, доллары США

8-дюймовая машина для проявки однородного клея ACD8 COATER&DEVELOPER

Цена по запросу.