Плазменный травитель серии TCP V1.0 Серии 9400, 9600

Машина для плазменного травления серии TCPПлазменный травильщик серии 9400, 9600

Технические характеристики

Оборудование серии TCP представляет собой оборудование для плазменного травления с одним резонатором на основе ICP фирмы LAM с шириной линии травления ≥ 0,3 мкм; оно в основном используется для оксида кремния, нитрида кремния, поликремния, кремния и металлических материалов для пластин размером 8 дюймов и ниже. травление.Оборудование TCP занимает небольшую площадь и имеет высокую степень интеграции оборудования, что подходит для крупномасштабного производства.В то же время оборудование оснащено мощной радиочастотной системой и системой газоотвода, которая позволяет реализовать совместимое развитие различных процессов.Оборудование серии TCP может быть оснащено электростатической адсорбцией, системой Envision и т.д., а соответствующая конфигурация может быть выбрана в соответствии с различными технологическими требованиями; рынок оборудования имеет большое количество владельцев, и каналы поставок запасных частей идеальны.

Область применения
6-дюймовая, 8-дюймовая традиционная линия по производству полупроводников на основе кремния

Обновленные области применения
Процесс получения 4-дюймового и 6-дюймового карбида кремния, нитрида галлия и арсенида галлия

Улучшенные преимущества продукта

• Обновляемый комплект трансмиссии и резонаторов, соответствующий прозрачному листу, передаче тонких листов и вспомогательной технологии
• Дюймовая электростатическая адсорбция для травления ультратонких пластин
• Высокоточная радиочастота смещения может быть настроена для обеспечения травления GaN, GaAs и других материалов без повреждений
• 9600DSQ решение для низкотемпературного дегуммирования в камере
• Специальные решения для травления Si могут быть настроены для удовлетворения потребностей в небольшой ширине линий и больших соотношениях сторон
• Обеспечивают множество новых технологических разработок и решений
• Программное обеспечение имеет безопасное и удобное управление правами, удобный интерфейс управления и идеальную функцию регистрации для поддержки автоматизации производства