Применение
α-Si, SiO2, SixNy, PSG, BPSG
Размер подложки
8 дюймов и ниже
Применимый материал подложки
Кремний, карбид кремния, нитрид галлия, арсенид галлия, сапфир, кварцевое стекло
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SINO Plasma2000 PECVDS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support