Система AVP 4T PVD

Модуль процесса

4 8-дюймовые мишени (обычно используются для 6-дюймовых пластин) или 2 10-дюймовые мишени (обычно используются для 8-дюймовых пластин)

Транспортный модуль

BROOKS Marathon™ Express, MX400 или MX500 с автоматическим выравнивателем положения пластины

Загрузка пластин и загрузочная камера (LoadLock)

BROOKS VCE, вмещает 12 пластин или индивидуальный ящик для образцов (кассета)

Размер пластины

Максимум 8 дюймов, настраиваемый

Партия

Работает до 8 пластин размером 6 дюймов одновременно или до 6 пластин размером 8 дюймов или по индивидуальному заказу;

Магнетрон

Магнетрон постоянного тока/Магнетрон PDC/РЧ/РЧ-магнетрон

Онлайн-мониторинг толщины пленки

Спектральный толщиномер пленки

Целевой источник питания

Источник питания радиочастоты (RF), постоянного тока (DC) или импульсного постоянного тока (PDC) ≤5 кВт.

РЧ-смещение, очистка проб (предварительная очистка)

Радиочастотный (РЧ) источник питания мощностью 1 кВт,

Скорость вращения

0~10 (об/мин, оборотов в минуту)

Высота вертикального подъема

0~35 мм

Охлаждение

Водяное

Типичные технологические газы

Арг, O₂ , N₂ 

Технологическая камера вакуумная

<3 x 10 ^-8  Торр

Вакуумный насос технологической камеры

Молекулярный насос, водяной насос, механический насос

Система автоматического управления

ПЛК

Программное обеспечение для промышленного контроля

Программное обеспечение промышленного управления с графическим пользовательским интерфейсом на базе Microsoft WINDOWS, с функциями удаленного обслуживания и поддержки.

Модель             

Стоимость, доллары США

AVP 4T PVD

Цена по запросу