Технические характеристики
Широко применимо к устройствам MEMS, GMR, TMR-устройствам, многослойным пленкам и магнитному осаждению тонких пленок.
8-дюймовая система, европейского и американского промышленного производства. Процессы нанесения пленок, такие как RF, DC и импульсный DC.
6-мишеневая технологическая камера, особенно подходит для многослойных пленок, таких как GMR и TMR.
Технические параметры
|
Технологическая камера (ПМ) |
6-дюймовая пластина, 6 12-дюймовых мишеней или 8-дюймовая пластина, 6 13-дюймовых мишеней; |
|
Транспортная палата (ТМ) |
Brooks MarathronTM Express с калибратором положения пластины |
|
Камера загрузки и загрузки проб (LL) |
Brooks VCE, кассета на 12 пластин или нестандартная кассета |
|
Магнетрон |
DC/импульсное DC/RF/RF магнитное управление; автоматическая целевая перегородка, расположенная на верхней крышке резонатора; |
|
Типичный целевой источник питания |
Магнетрон постоянного/импульсного постоянного тока: максимум 5 кВт. ВЧ/РЧ магнетрон: максимум 10 кВт; |
|
Магнитное поле смещения |
Двунаправленное смещающее магнитное поле (вертикальное, параллельное) |
|
Газ |
Ar, O2,H2 |
|
Вакуум |
<2x10-8Торр |
|
Высоковакуумный насос |
Опционально: холодный насос/молекулярный насос + водяной насос + механический насос. |
|
Автоматический контроль |
ПЛК |
|
Программное обеспечение |
Программное обеспечение промышленного управления на базе новейшей версии WINDOWS. |
|
Однородность пленки |
σ< 1,0% |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
AVP 6T GMR PVD |
Цена по запросу |
JoomShopping Download & Support