Области применения: производство пластин (кремний и карбид кремния) и усовершенствованная упаковка
Размер пластины: 150 мм ~ 300 мм
Технические характеристики
- 2 - 4 загрузочных отверстия
- 4 - 8 чистящих камер
- Функция переворачивания пластин, поочередная очистка сзади и спереди
- Оснащен задней и краевой щеткой
- Распылением азота, двухжидкостной очисткой
Индекс процесса：
PA ≤20ea 0.09µm;
PRE ≥97% 0.09μm
Загрязнение металлом ≤5E9 атомов/см2
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Оборудование для чистки щеток (серия SS) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support