Гальваническое оборудование VMAX 2D

Области применения: Опорные, отбойные, RDL, TSV и другие процессы
Размер пластины: 150 мм ~ 300 мм
Технические характеристики

• До 3 загрузочных отверстий
• До 8 гальванических полостей: Cu, Ni, Sn / Ag, Au
• поддержка до 8 резервуаров для жидкости для нанесения гальванических покрытий
• До 2 полостей для предварительного увлажнения, 2 полости для очистки
• Горизонтальные полости для нанесения гальванических покрытий, отсутствие перекрестного загрязнения
• Поддержка обслуживания отдельных полостей, увеличение времени безотказной работы оборудования
• Технология резинового уплотнения, улучшенные характеристики уплотнения
• Технология разделения анода и катода, лучшая стабильность ванны
  Индекс процесса：Высокая степень однородности: WiW≤5%, WtW≤5%, RtR≤3%