Модель устройства: DSI-D-PHA0006-A01
Области применения: конденсаторы, катушки индуктивности, линии, графическая литография, светодиодные пластины
Технические характеристики
- Оборудование использует ультрафиолетовую оптическую систему 365 нм с высокой освещенностью и высокой однородностью для достижения минимального разрешения литографии 1 мкм (светодиодный источник света может быть настроен в соответствии с потребностями заказчика).
- Принять закрытый режим работы (дополнительный контактный тип, вакуумный тип), двухстанционную автоматическую загрузку и разгрузку, 24-часовое непрерывное производство, а производственные мощности находятся на ведущем уровне в отрасли.
- Уникальная система кондиционирования питания с системой регулировки источника света с электрическим приводом может непрерывно и непрерывно регулировать мощность экспозиции, которая идеально адаптирована к потребностям различных производственных сценариев.
- Оснащенный высокоточной ПЗС-камерой, он обеспечивает точное выравнивание передней части 1 мкм и точный контроль зазора маски/фоторезиста (зазора).
Технические параметры
|
Основные параметры: |
Размеры обработки |
Размер экспозиции: 6 дюймов * 6 дюймов |
|
Скорость обработки |
>140 шт./ч (время экспозиции = 15 с) |
|
|
Точность обработки |
Разрешение экспозиции: 3 мкм (поддержка по желанию заказчика) |
|
|
Точность позиционирования платформы |
Ось X: ±1 мкм |
|
|
Ось Y: ±1 мкм |
||
|
Ось Z: ±3 мкм |
||
|
Тета ось: 0,1° |
||
|
Параметры лазера |
Источник света: УФ-лампа мощностью 500 Вт, длина волны 365 нм (источником света может быть UVLED или УФ-ртутная лампа, поддержка настройки клиента) |
|
|
Время такта |
9 с (без учета времени экспозиции) |
|
|
Коэффициент использования |
>0,95 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DSI-D-PHA0006-A01 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support