Модель устройства: DSI-D-PHS0406-A01
Применение: Кремниевые пластины
Технические характеристики
Он подходит для процесса литографии при производстве 4-6-дюймовых светодиодных кремниевых чипов / сапфировых чипов и использует большое поле зрения экспозиции, что значительно сокращает количество экспозиций и значительно повышает производственные мощности.
Технические параметры
|
Основные параметры: |
Размеры обработки |
4", 6" пластины |
|
Скорость обработки |
4 дюйма, 137 шт./ч |
|
|
Точность обработки |
Разрешение: 2 мкм л/с |
|
|
Параметры платформы |
Точность |
|
|
Параметры лазера |
Источник света: УФ-лампа мощностью 2000 Вт, длина волны 365 нм |
|
|
Время такта |
4": 43,1 секунды (первая часть), петля TT 25,6 секунды |
|
|
Коэффициент использования |
>95% |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
DSI-D-PHS0406-A01 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support