Стандартный проявитель, модель CD06-XS2C2D1A

Модель оборудования: CD06-XS2C2D1A

Области применения: составные полупроводники, силовые устройства, МЭМС, ВЧ интегральные схемы, светодиоды, научно-исследовательские проекты, оптические устройства

Технические характеристики

1. Небольшая занимаемая площадь, высокая стабильность, простота эксплуатации и обслуживания
2. Он может широко использоваться в процессе склеивания и проявки кремния, карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия, стекла и других материалов.
3. Он может удовлетворить технологические требования более 0,35 мкм, удовлетворить потребности 2 ~ 6 дюймовых пластин и может покрыть фоторезист 3 ~ 20000CP
4. Высокая точность управления, решение для управления в режиме реального времени, связь Ether CAT, высокоточный поворотный рычаг и механизм передачи.
5. Независимые и контролируемые технические решения и системы программного обеспечения собственной разработки полностью отвечают требованиям кастомизации

Технические параметры