Тепловой блок AMC серии TAU

Оборудование для адсорбции ионных частиц серии TAU в основном используется в оборудовании экспонирующих машин при производстве панелей для удаления вредных веществ в воздухе, которые могут снизить показатель преломления линзы экспонирующей машины. Он также имеет функцию точного контроля температуры и контроля влажности.

Технические характеристики

• Улучшите качество травления продукта и проявки.
• Не допускайте распыления зеркальной поверхности экспонирующего оборудования, чтобы продлить срок службы комплекта зеркал.
• Предотвратите загрязнение линз и увеличьте освещенность и срок службы лампы.

Точность контроля влажности: ±5% относительной влажности ~ ±3%относительной влажности.

Точность контроля температуры: ±0.5℃~±0.3℃.

Скорость удаления газообразных молекулярных загрязнителей: ≈80% в основном AMC.

Применимая область применения: в основном используется для зеркальной защиты экспонирующих машин на панельных заводах, фабричных фабриках, а также на упаковочных и испытательных фабриках