Станок для травления чипов ELEDE® G380A/G380D

Травильный станок ELEDE® G380A/G380D представляет собой плазменный станок для сухого травления, используемый в процессе травления светодиодных чипов. Он оснащен одинарной/двойной реакционной камерой лоткового типа и полностью автоматическим режимом работы из нескольких частей. Оборудование подходит для травления различных материалов Mini LED и Micro LED, охватывая весь процесс травления синих, зеленых, красных и желтых чипов.

Технические характеристики

• Для применения в различных процессах травления материалов технологический диапазон очень широк.
• Поместите 9 кусочков 4-дюймовых / 4 кусочка 6-дюймовых пластин в один лоток, чтобы добиться высокой производительности и при этом обеспечить хорошую равномерность травления.
• Полная проходимость, полный вакуум, автоматическая подача пластин, превосходный контроль содержания частиц.

Размер пластины: 2, 4, 6 дюймов и специальные размеры.

Применимые материалы: нитрид галлия, оксид кремния/оксид титана, арсенид галлия, фосфид галлия, алюминий, галлий-индий-фосфор, нитрид кремния, вольфраматат титана, органические вещества и т.д.

Применимый процесс: травление электродов, изоляция глубоких канавок, DBR, красный и желтый свет, пассивирующий слой, металлический барьерный слой и т.д.

Применимая область применения: полупроводниковое освещение, мини-светодиод.