Машина для обезжиривания ACE i300

ACE i300 — это устройство для удаления плазмы высокой плотности, в основном используемое для сухого травления фоторезиста толщиной 8/12 дюйма. Используя мощную систему источника плазмы, она имеет такие преимущества в производительности, как высокая скорость удаления клея, высокая однородность, низкое повреждение плазмой и малое количество дефектов. Она подходит для удаления клея после ионной имплантации, удаления клея после травления и обработки поверхности. Эта машина представляет собой многокамерное кластерное оборудование с высокой производительностью, простотой обслуживания, стабильной производительностью и низкой стоимостью владения. Предоставляйте недорогие платформенные решения для оборудования для клиентов с различными потребностями в приложениях.

Технические характеристики

• Система источников плазмы высокой плотности и с низким уровнем повреждений.
• Двойная конфигурация атмосферно-вакуумной передачи для удовлетворения потребностей различных процессов дегуммирования.
• Большая производственная мощность, быстрая скорость обезжелезивания, высокая наработка на отказ.
• Индивидуальная конфигурация программного обеспечения.

Размер пластины: совместимость с 8/12 дюймами.

Применимые материалы: фоторезист.

Применимый процесс: сухое обезжиривание.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник.