Оборудование SC3080 может быть одновременно оснащено различными химическими растворами и в основном используется для процессов очистки 12-дюймовой задней и передней части. Машина в основном состоит из трансмиссионного модуля, технологического модуля, модуля подачи жидких лекарственных средств, силового шкафа и т.д. В стандартной комплектации она оснащена 8 камерами и 2 комплектами систем жидких лекарственных средств и может выполнять полностью автоматическую сушку в процесс сухой чистки.
Технические характеристики
- Возможность точного контроля микроокружения камеры.
- Поддержка нескольких химических веществ.
- Эффективная утилизация химических веществ.
- доступны 4 полости или 8 полостей.
- Превосходный эффект сушки.
Размер пластины: 12 дюймов.
Применимые материалы: монокристаллический кремний, поликремний, оксид кремния, нитрид кремния, диэлектрическая пленка, металлическая пленка.
Применимый процесс: после того, как задняя часть процесса Cu/Al протравлена, подложка Al, задняя сторона очищены, задняя сторона протравлена, и задняя часть контролируется с помощью функции восстановления заготовки.
Применимая область применения: интегральные схемы, усовершенствованная упаковка, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SC3080 Инструмент для очистки одной пластины 12 дюймов. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support